精密测量研发中心

精密测量研发中心是依托中山大学物理与天文学院、在中山大学南昌研究院成立的重要研发、中试、生产平台。作为中山大学在南昌首批布局的重要科研平台，中心结合南昌经济社会发展需求，开展以高端精密测量仪器及精密重力测量技术的攻关，为南昌推进创新驱动发展战略和军民融合战略，发展和培育高新技术产业，参与国家大科学、大工程提供重要支撑。中心位于光电产业园二号园区1#厂房内，项目总投资约1.8亿元，总建筑面积约1.28 万平方米，主要包含: 精密测量厂房1.05万平方米、办公区0.15 万平方米、厂务配套等约800平方米。
目前，研发中心已搭建有微纳加工及芯片研发，量子重力仪、LED高端光源、高精度角位移比较器总计4条研发产线。涵盖半导体器件、高端仪器研发、生产、调试全过程。

团队介绍

罗俊院士

学术带头人

1956年11月出生，中共党员，中国科学院院士，引力物理专家。长期从事引力实验与精密测量物理研究，开展了牛顿万有引力常数G的精确测量，实验结果被国际科技数据委员会（CODATA）基本物理常数任务组收录；开展了光子静止质量的实验检验，实验结果被国际粒子物理数据组（PDG）收录；开展了亚毫米范围牛顿反平方定律的实验检验，实验结果得到国际同行认可；与他人合作开展了宏观旋转物体等效原理的实验检验等基础科学研究。

涂良成教授

团队负责人

1973年8月出生，中共党员，国家杰青，理学博士。主要研究方向是精密测量科学仪器研制与引力实验，先后承担与参与863、973、国家自然科学基金等各类纵向科研项目30余项。在基础科学研究领域的主要研究成果包括采用旋转扭秤调制法检验光子静止质量上限实验结果被国际基本粒子数据组PDG收录，采用扭秤双调制实验完成亚毫米到毫米范围牛顿反平方定律的实验检验达到国际先进水平，参与的改进扭秤周期法测量万有引力常数G实验结果被CODATA2010、2014、2018收录等。

杨山清教授

1981年1月出生，中共党员，国家优青，理学博士、博士生导师。现任中山大学物理与天文学院院长、中山大学南昌研究院院长。主要从事精密引力实验、空间引力波探测中的相关问题研究。近十年来，作为团队骨干成员，在罗俊院士的带领下，采用两种方法测量出了迄今为此最高精度的引力常数G值，结果发表在顶级学术期刊《Nature》上，被国际同行评价为“精密测量领域卓越工艺的典范”，并入选2018年度中国科学十大进展。在静态引力实验及精密测量领域合作发表SCI论文20余篇（其中含Nature 论文1篇、Physical Review Letters论文6篇），2018年与团队一起获得国家研究生教育成果二等奖。

精密测量研发中心

微纳加工平台建有江西省内第一条专用微纳加工技术及芯片研发线，可开展半导体微纳研发、加工、测试、集成等科研活动。平台现有6000平米超净间厂房，在科研机构中属先进水平，其中光刻区、键合区共300平米，净化等级为百级；刻蚀区、湿法区、薄膜区共2000平米，净化等级为千级。目前已购置200余台先进半导体工艺及测试设备，涉及芯片前后道、封装、测试等半导体工序，能完成4&6寸晶圆全流程流片加工。

科研服务：

工艺开发、设计及结构验证、器件代工流片、测试分析、封装与集成、技能培训、设备代管、洁净车间服务

了解更多

量子重力仪研发平台可提供量子重力仪与重力测量服务。高精度量子绝对重力仪将物质波干涉的原理应用于精确测量重力场信息，由于原子物质波的波长比光波更短，进而可以提高重力测量精度。采用微观原子作为检验质量，无机械摩擦，可以克服高频振动等基本噪声的限制，能长时间连续工作。量子重力仪在绝对重力测量领域具有独特的应用价值。

平台研制的高精度量子绝对重力仪采用铷原子作为检验质量，并利用Mach-Zehnder (MZ)型原子干涉仪，突破一批核心技术主要包括大数目原子装载技术、原子干涉技术、原子末态归一化探测技术、主动隔振技术，高频率稳定性、低相位噪声光源，外磁场屏蔽技术等组成。目前，平台研制的高精度量子绝对重力仪精度达微伽量级，和传统重力仪相比，冷原子重力仪具有更好的稳定性和准确性。

了解更多

LED高端光源平台以LED高端封装技术为牵引，着重研究高光效、高显色、非蓝光芯片、连续光谱、色度饱和度、近红外等健康光源，以SMD系列、陶瓷系列器件封装及设计、高精密色温控制技术，不断优化LED光源封装结构性能，提高LED显色性、光源效率、散热能力和可靠性能，打造成为国内领先的高端光源平台。

科研服务：

封装工艺开发、工艺验证、光源器件代工、技术培训、性能测试及失效分析

了解更多

高精度角位移比较器研发平台主要针对亚微弧度级小角度测量需求，已研制出不同测量范围和精度的多个系列高精度自准直仪。系列产品可实现双轴同步测量，并配备多功能触屏数显控制器，控制器与计算机可通过网线连接，能够极为方便的集成于用户软件或被调用。平台研发的自准直仪最优分辨率可以达到0.003″，最高测量精度可达±0.03″，稳定性好，测量精度高，其实测性能已达到国际同类型仪器最优水平。该系列自准直仪可广泛应用于超精密角度测量、仪器校准、精密机械安装定位以及光学产品表面轮廓测量等多个领域。

了解更多